კატალოგი მუშაობს სატესტო რეჟიმშიThe National Library of Georgia

ჩემი ბიბლიოთეკა

     
შეზღუდული ძიება ხელმისაწვდომ ერთეულებზე
წიგნის ყდა
book
ენობრივი მასალა

სათაური Sub-Half-Micron lithography for ULSIs / ed. by Katsumi Suzuki, Shinji Matsui a. Yukinori Ochiai.

საგამომცემლო ცნობები Cambridge : Cambridge Univ. press, [c.2000]
დაჯავშნეთ მასალა

ეგზემპლარები

მდებარეობა შენახვის შიფრი სტატუსი
 წიგნის მუზეუმი  621.3.049.771/S-91    ხელმისაწვდომი
აღწერილობა xvii, 323 p. : tab. ; 25 cm.
შენიშვნა ბიბლიოგრ. თავების შემდეგ.
თემატიკა ინტეგრალური სქემები.
ულტრა დიდი ინტეგრალური სქემები.
მიკროლითოგრაფია.
ნაბეჭდი სქემები.
დამატებული ავტორი Suzuki, Katsumi, ed.
Matsui, Shinji, ed.
Ochiai, Yukinori, ed.
ISBN: 0521570808
UDC: 621.3.049.771
621.3.049.711.15
621.3.049.774
621.3.049.75
621.315.592
763